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激光设备系统组成及主要技术性能 1、激光系统 （1）激光器 紫外激光器具有显著***点： 1） 增益介质的表面积/体积比大 2） 固有的全封闭柔性光路 3） 光路具有免维护***性 4） 单芯结二极管泵浦激光模块 5） 寿命长 采用单芯结半导体泵浦激光器作为紫外激光器的泵浦源，全紫外激光器将具备长寿命的***点，因此，紫外激光器的***低使用寿命都已经超过100000小时。 6） 体积小重量轻 7） 节水节电节成本 紫外激光器具有优异的热性能，电光效率较高，节水节电，尤其重要的是可长期免维护使用，可节约大量维护经费和时间，提高工作效率。 2、光学及观察系统 （1）光学系统: 355nm基于振镜的高精度反射、聚光系统。 （2）扩束镜: 光束反射前4倍扩束组合透镜。 （3）激光校正 选用0.6328μm的LD激光准直系统指示光轴位置,指示光与激光同轴,在加工时可达到寻迹指示的功能,并及时进行精确对位。 3、高速数字振镜扫描和聚焦系统 采用进口技术高速度、高精度振镜扫描电机及扫描器 高光学质量聚焦透镜。 （1）扫描器 分辨率0.001mm 重复精度±0.01mm 直线扫描速度***大至9000mm/s （2）F-θ平场透镜 |
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